該頁(yè)無(wú)縮略圖
WAYEAL皖儀
SOLUTIONS FOR THESEMICONDUCTORINDUSTRY皖儀科技半導(dǎo)體行業(yè)監(jiān)測(cè)/檢測(cè)解決方案
核心內(nèi)容
·企業(yè)介紹
·AMC監(jiān)測(cè)解決方案一站式密封性檢測(cè)解決方案實(shí)驗(yàn)室分析儀器解決方案
CONTENTS
01 企業(yè)介紹
COMPANYPRESENTATION
公司簡(jiǎn)介 01
核心優(yōu)勢(shì) 03
生產(chǎn)制造體系 05
售后服務(wù)體系 06
02
潔凈車間AMC監(jiān)測(cè)
CLEANROOM AMC MONITORING
AMC監(jiān)測(cè)背景 07
AMC監(jiān)測(cè)解決方案 08
AMC監(jiān)測(cè)案例 09
03
污染源排口在線監(jiān)測(cè)
ONLINE MONITORING OF POLLUTION SOURCEEMISSIONS
酸性排氣在線監(jiān)測(cè) 11
堿性排氣在線監(jiān)測(cè) 13
有機(jī)物排氣在線監(jiān)測(cè) 14
廢水在線監(jiān)測(cè) 15
04
一站式密封性檢測(cè)解決方案
ONE-STOP SEALINGTESTING SOLUTION
05
應(yīng)用背景 18
方案構(gòu)成 19
核心產(chǎn)品介紹 20
場(chǎng)景應(yīng)用 22
實(shí)驗(yàn)室分析儀器解決方案
LABORATORYANALYTICALINSTRUMENTATION SOLUTIONS
分析儀器的應(yīng)用 24
離子色譜儀的應(yīng)用 25
液相色譜質(zhì)譜解決方案 26
氣相色譜及質(zhì)譜在半導(dǎo)體制造中應(yīng)用 27
01 企業(yè)介紹COMPANYPRESENTATION
公司簡(jiǎn)介
COMPANYPRESENTATION
安徽皖儀科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱：皖儀科技）成立于2003年，2020年在上交所科創(chuàng)板上市，是安徽省首家科創(chuàng)板上市的企業(yè)（股票代碼：688600）。
作為一家全球精密科學(xué)儀器的專業(yè)供應(yīng)商，皖儀科技業(yè)務(wù)主要涵蓋工業(yè)檢測(cè)儀器、在線監(jiān)測(cè)儀器、實(shí)驗(yàn)室分析儀器、醫(yī)療及生命科學(xué)儀器四大領(lǐng)域，現(xiàn)有員工1100余名，業(yè)務(wù)覆蓋全球20多個(gè)國(guó)家。
皖儀科技一直堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新和產(chǎn)品領(lǐng)先的戰(zhàn)略，近年來(lái)持續(xù)加大研發(fā)投入，每年研發(fā)投入占營(yíng)收的 20 % 左右，先后建立了博士后科研工作站、院士工作站、國(guó)家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心等科研平臺(tái)，被評(píng)為國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)和國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)示范企業(yè)等。
未來(lái)，皖儀科技將秉承“品質(zhì)皖儀服務(wù)皖儀”的企業(yè)精神，致力于成為在精密科學(xué)儀器和生命健康領(lǐng)域具有較強(qiáng)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的企業(yè)，成為富有責(zé)任感、受人尊敬的中國(guó)企業(yè)典范！
CSIA 中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì) M (Mtia°China Semiconductor Industry Association 集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì) 中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì) 集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)會(huì)員單位 會(huì)員單位 創(chuàng)新聯(lián)盟會(huì)員單位
核心優(yōu)勢(shì) COREBENEFITS
研發(fā)團(tuán)隊(duì)/R&DTEAMS
皖儀科技一直堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新和產(chǎn)品領(lǐng)先的戰(zhàn)略，近年來(lái)持續(xù)加大研發(fā)投入，連續(xù)4年每年研發(fā)投入占營(yíng)收的20 % 左右，截至2024年12月底，研發(fā)團(tuán)隊(duì)400余人。
其技術(shù)領(lǐng)頭人來(lái)自清華大學(xué)、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、西安交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、南京航空航天大學(xué)等國(guó)內(nèi)一流學(xué)府。公司研發(fā)實(shí)力在同行企業(yè)中處于較高水平，并取得了多項(xiàng)重要成就，多次承擔(dān)國(guó)家火炬計(jì)劃，獲得多項(xiàng)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)項(xiàng)。此外，公司還被認(rèn)定為國(guó)家級(jí)博士后科研工作站、國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心、安徽省院士工作站等，并通過(guò)國(guó)際CMMI5級(jí)認(rèn)證。
研發(fā)人才／R&DTALENTS
知識(shí)產(chǎn)權(quán)/INTELLECTUALPROPERTY
中國(guó)發(fā)明專利78項(xiàng)，國(guó)際專利2項(xiàng)，在審發(fā)明專利138項(xiàng)，實(shí)用新型及外觀177項(xiàng)，軟件著作權(quán)118項(xiàng)。
（截止2025年3月）
發(fā)明專利
在審發(fā)明專利
生產(chǎn)制造體系
MANUFACTURINGSYSTEM
公司產(chǎn)品研發(fā)過(guò)程中開(kāi)展可靠性設(shè)計(jì)和可靠性試驗(yàn)工作，通過(guò)使用各種環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備模擬氣候環(huán)境中的高溫、低溫、高溫高濕以及溫度變化等情況，加速反應(yīng)產(chǎn)品在使用環(huán)境中的狀況，來(lái)驗(yàn)證其是否達(dá)到在研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造中預(yù)期的質(zhì)量目標(biāo)，從而對(duì)產(chǎn)品整體進(jìn)行評(píng)估，以確定產(chǎn)品可靠性壽命。
公司所有產(chǎn)品都在轉(zhuǎn)量產(chǎn)前通過(guò)可靠性測(cè)試，確保上市新產(chǎn)品達(dá)到預(yù)期設(shè)計(jì)功能、性能和使用壽命的要求，滿足客戶對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的需求。
公司設(shè)有數(shù)控精密加工車間，配備進(jìn)口德瑪吉(DMG)數(shù)控車削中心、米克朗(MIKRON)五軸加工中心和高速立式加工中心、馬扎克(MAZAK)立式加工中心，核心關(guān)鍵精密零部件完全自主加工，有效保證零部件尺寸精度和形位公差，確保系統(tǒng)總成和儀器裝配一致性和性能穩(wěn)定性。
售后服務(wù)體系
AFTER-SALESSERVICESYSTEM
團(tuán)隊(duì)保證
公司已經(jīng)建立了一支能夠適應(yīng)客戶需求，具備快速反應(yīng)能力，能向客戶提供優(yōu)質(zhì)技術(shù)方案、技術(shù)咨詢和售后服務(wù)的分級(jí)技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
組織保證
公司在各大區(qū)設(shè)立了辦事處，以便能對(duì)所轄區(qū)域快速反應(yīng)，及時(shí)服務(wù)，以此來(lái)提高產(chǎn)品的美譽(yù)度。
管理保證
把技術(shù)服務(wù)工作作為相關(guān)專業(yè)部門(mén)人員的一個(gè)必備職責(zé)來(lái)抓。
能力保證
加強(qiáng)對(duì)各級(jí)技術(shù)支持體系和售后服務(wù)人員和培訓(xùn)。
制度保證
公司建立了完善的技術(shù)支持與售后服務(wù)體系和激勵(lì)制度。
02 潔凈車間AMC監(jiān)測(cè) CLEANROOMAMCMONITORING
AMC監(jiān)測(cè)背景
AMCMONITORINGBACKGROUND
氣體分子污染物（AIRBORNEMOLECULARCONTAMINANTS）簡(jiǎn)稱AMC，包含酸、堿、有機(jī)物等。隨著半導(dǎo)體制程節(jié)點(diǎn)不斷逼近摩爾極限，芯片生產(chǎn)對(duì)于環(huán)境潔凈度的要求越來(lái)越高，即便是納米級(jí)的AMC也會(huì)對(duì)制程造成影響，從而降低產(chǎn)品良率和產(chǎn)能。
AMC監(jiān)測(cè)解決方案
AMCMONITORING SOLUTION
2
酸堿陰陽(yáng)離子： N { \mathsf O } _ { 3 } ^ { - } 、CL、F、 S { \mathsf { O } } _ { 4 } ^ { \ 2 - } 、 N H _ { 4 } ^ { + } 等
D1
無(wú)機(jī)氣態(tài)分子：NH、N \mathsfit { O } _ { x } , HCL、HF、 { \mathsf { S O } } _ { 2 } , ， \mathsf { O } _ { 3 }
有機(jī)物：TVOC、IPA、ACE-TONE、PGME、PGMEA等分項(xiàng)VOC
| 传感器零件编号 SensorPartsNO. | 传感器供应商 SensorVendor | 数量 QTY | 功能 Function | 技术 Technology | 范围 Range | 密度 LDL |
| AQ7021 | 皖仪 | 1 | NH3+NO+NO2 | 化学发光法 | 0-50ppb | 0.1ppb |
| AQ7011 | 皖仪 | 1 | SO2+H2S | 紫外荧光法 | 0-50ppb | 0.1ppb |
| AQ7040 | 皖仪 | 1 | 03 | 紫外吸收法 | 0-50ppb | 0.2ppb |
| AQ9010 | 皖仪 | 1 | HF | TDLAS | 0-50ppb | 0.1ppb |
| AQ9020 | 皖仪 | 1 | HCl | TDLAS | 0-50ppb | 0.1ppb |
| AQ9050 | 皖仪 | 1 | TVOC | PID | 0-1000ppb | 0.5ppb |
主要產(chǎn)品/MAINPRODUCTS酸堿陰陽(yáng)離子分析儀
IC7000(IC)
監(jiān)測(cè)物質(zhì)： N { \mathsf O } _ { 3 } ^ { - } 、CL-、F、 S { \mathsf { O } } _ { 4 } ^ { \ 2 - } 、 N H _ { 4 } ^ { + } 等陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)原理：IC7000支持24小時(shí)無(wú)人值守運(yùn)行，配備自動(dòng)進(jìn)樣、在線稀釋、實(shí)時(shí)校準(zhǔn)功能減少人工干預(yù)，提升數(shù)據(jù)連續(xù)性；支持4G/5G遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)傳輸，可通過(guò)云平臺(tái)實(shí)時(shí)查看數(shù)據(jù)、調(diào)整參數(shù)；工作溫度范圍通常為* 1 0 ^ { \circ } \mathsf C 至 . 5 0 ^ { \circ } \mathsf { C } ，適應(yīng)高寒、高溫等極端環(huán)境。
核心指標(biāo)：多種離子同步檢測(cè)能力；雙通道超濾池并聯(lián)，大大延長(zhǎng)更換周期；無(wú)需氮?dú)庠?，通過(guò)空氣即可實(shí)現(xiàn)淋洗液加壓除氣泡。
污染主要工藝來(lái)源：刻蝕、清洗、濕法工藝
主要產(chǎn)品/MAINPRODUCTS有機(jī)物分析儀
監(jiān)測(cè)物質(zhì)：揮發(fā)性有機(jī)物 (116種VOCS)
監(jiān)測(cè)原理：VM1750型揮發(fā)性有機(jī)物連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是一款分析環(huán)境空氣中多組分VOCS的高精度儀器，該系統(tǒng)由樣品前處理模塊和氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GCMS）模塊構(gòu)成，采用低溫冷凍吸附方式將空氣中的痕量揮發(fā)性有機(jī)物富集，隨后高溫解吸將樣品傳輸至氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GCMS）分離并檢測(cè)。
核心指標(biāo)：檢出限 { \tt s } 0 . 1 ppb 污染主要工藝來(lái)源：光刻、清洗劑、外氣
AMC監(jiān)測(cè)案例
AMC MONITORING CASE
已逐步實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體AMC監(jiān)測(cè)國(guó)產(chǎn)化
1、在合肥、北京、武漢等12時(shí)晶圓廠，皖儀半導(dǎo)體AMC監(jiān)測(cè)儀器正在取代國(guó)際一線進(jìn)口產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)部分國(guó)產(chǎn)替代
2、持續(xù)發(fā)展激光光譜、質(zhì)譜、離子色譜等技術(shù)在半導(dǎo)體AMC監(jiān)測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用
03 污染源排口在線監(jiān)測(cè) ONLINE'MONITORING OF POLLUTION SOURCE EMISSIONS
酸性排氣在線監(jiān)測(cè)
ONLINEMONITORING OFACIDIC EMISSIONS
CEMS1220煙氣排放連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
系統(tǒng)介紹：
CEMS1220煙氣排放連續(xù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)采用紫外差分光譜技術(shù)直接測(cè)量S ; 0 _ { / { 2 } { 2 } } 、NO、 N \mathsf { O } _ { 2 } 、 { \mathsf { C l } } _ { 2 } ；整套系統(tǒng)由氣態(tài)污染物0 S 0 _ { \scriptscriptstyle 2 } 、NO、 N \mathsf { O } _ { 2 } 1 \mathsf { O } _ { 2 } 、CI等）監(jiān)測(cè)、煙氣參數(shù)（溫度、壓力、流速、濕度等）監(jiān)測(cè)、顆粒物監(jiān)測(cè)及數(shù)據(jù)采集與處理單元4個(gè)子系統(tǒng)組成。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
ON直測(cè)
無(wú)需氮氧化物轉(zhuǎn)化爐，利用差分吸收光譜技術(shù)(DOAS)直接測(cè)量煙氣中NO濃度。
維護(hù)方便
2氣體分析儀中光源、氣體室和光譜儀之間采用光纖連接，各部件維護(hù)和更換簡(jiǎn)單、成本低。
配置靈活
5 可以根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)的具體工況參數(shù)和技術(shù)要求，進(jìn)行靈活優(yōu)化的配置，充分滿足用戶的要求。
應(yīng)用范圍：
火力發(fā)電、鋼鐵冶金、石化行業(yè)、水泥行業(yè)、工業(yè)窯爐、工業(yè)鍋爐、半導(dǎo)體行業(yè)等。
| 系统型号 | CEMS1200 | CEMS1250 | CEMS1220 |
| 系统类型 | 热湿法 | 冷凝法 | 热湿法 |
| 氮氧化物原理 | 转换炉法 | ||
| 氧含量方法 | 电化学 | ||
| 湿度仪 | 阻容法 | ||
| 流速仪 | 皮托管法 | ||
| 温度 | 铂电阻法 | ||
| 认证量程 | SO:0~70 mg/m³ | SO2:0~45mg/m³ | SO2:0~35mg/m³ |
| NO:0~65mg/m³ | NO:0~45mg/m³ | NO:0~35mg/m³ NOz:0~100 mg/m² | |
CEMS1900煙氣排放監(jiān)測(cè)系統(tǒng) （傅里葉紅外法）
系統(tǒng)介紹：
本系統(tǒng)采用傅里葉紅外吸收技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)生活垃圾焚燒、危廢和固廢焚燒等煙氣的氣態(tài)污染物的測(cè)量。系統(tǒng)包括預(yù)處理單元、分析單元和數(shù)據(jù)采集與處理單元，可以連續(xù)監(jiān)測(cè) { \mathsf { S O } } _ { 2 } 、NO、 N \mathsf { O } _ { 2 } 、HF、HCI、CO、 { \mathsf { C O } } _ { 2 } 、 { \sf H } _ { 2 } \sf { O } 、NH3等參數(shù)的濕基值、干基值和折算值，并且根據(jù)煙氣溫度、壓力、流速等多項(xiàng)相關(guān)參數(shù)統(tǒng)計(jì)排放率和排放總量。
系統(tǒng)原理：
紅外光源發(fā)出的光通過(guò)進(jìn)入干涉儀形成干涉光譜，經(jīng)測(cè)量池內(nèi)樣氣的特征吸收后聚焦到檢測(cè)器上。干涉圖經(jīng)過(guò)放大器后被放大、過(guò)濾、數(shù)字化，數(shù)字化信號(hào)被進(jìn)一步地?cái)?shù)學(xué)處理，變換成單通道光譜圖。最終對(duì)光譜圖進(jìn)行進(jìn)一步分析，換算得到各個(gè)氣體參數(shù)的濃度值。
| 项目 | 指标 |
| SO2量程 | (0-75)mg/m²,(0-2000)mg/m可定制 |
| NO量程 | (0-100)mg/m,(0-2000)mg/m可定制 |
| NO2量程 | (0-100)mg/m,(0-1000)mg/m可定制 |
| NH3量程 | (0~5)mg/m²,(0~50)mg/m可定制 |
| HCI量程 | (0~100)mg/m²,(0~150)mg/m可定制 |
| HF量程 | (0-3)mg/m²,(0~50)mg/m可定制 |
| CO量程 | (0~100)mg/m²,(0-1000)mg/m可定制 |
| H2O量程 | (0-40)% |
| CO量程 | (0~25)% |
| O2量程 | (0~25)% |
| 零点漂移 | ≤+2%F.S. |
| 量程漂移 | ≤+2%F.S. |
| 线性误差 | ≤+2%F.S. |
| 响应时间 | ≤200s，HCI、HF≤400s (50m伴热管线) |
堿性排氣在線監(jiān)測(cè)
ALKALINEEXHAUST ONLINEMONITORING
LG1100可調(diào)諧半導(dǎo)體激光氣體分析儀
產(chǎn)品介紹：
LG1100激光氣體分析儀采用了先進(jìn)的光譜監(jiān)測(cè)手段--可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光(TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy,TDLAS)，激光氣體分析儀是采用一體化設(shè)計(jì)、高集成度的激光氣體分析系統(tǒng)。相對(duì)于傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法，可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)具有實(shí)時(shí)在線、非接觸測(cè)量、待測(cè)氣體選擇性高等優(yōu)點(diǎn)，能夠更準(zhǔn)確、更實(shí)時(shí)的反映現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)物的濃度。系統(tǒng)通過(guò)無(wú)須采樣預(yù)處理的原位測(cè)量方式，能對(duì)各類工業(yè)過(guò)程氣體、環(huán)保排放煙氣等過(guò)程氣體進(jìn)行快速、準(zhǔn)確和可靠的測(cè)量，可用于CO、 { \mathsf { C O } } _ { 2 } 、 C H _ { 4 } 、 N { \sf H } _ { 3 } 、 \mathsf { O } _ { 2 } 、 H _ { 2 } O 、HCI、HF等氣體監(jiān)測(cè)，為各行業(yè)氣體在線監(jiān)測(cè)提供可靠的解決方案。
產(chǎn)品介紹：
·高精度、漂移極低 ·可測(cè)量復(fù)雜氣體混合物及其組分變化 ·響應(yīng)時(shí)間<1s·高選擇性、無(wú)交叉干擾 ·不受粉塵的影響 ·維護(hù)周期長(zhǎng)，成本低可測(cè)量高溫氣體、最高可達(dá) 5 0 0 ^ { \circ } \mathsf { C } ·原位測(cè)量，無(wú)需采樣 ·可同時(shí)測(cè)量氣體濃度與溫度
LG8000/LG8100可調(diào)諧激光氣體分析儀
產(chǎn)品介紹：
LG8000/LG8100激光氣體分析儀采用了先進(jìn)的光譜監(jiān)測(cè)手段一-可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光(Tunable Diode Laser Absor-ption Spectrosco-py)，獲取待測(cè)氣體特征吸收的光譜譜線。相對(duì)于傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法，可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)具有實(shí)時(shí)在線、非接觸測(cè)量、待測(cè)氣體選擇性高等優(yōu)點(diǎn)，能夠更準(zhǔn)確、更實(shí)時(shí)的反映現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)物的濃度。系統(tǒng)通過(guò)原位高溫抽取，采用多次反射池，檢測(cè)限低。能對(duì)各類工業(yè)過(guò)程氣體、環(huán)保排故煙氣等過(guò)程氣體進(jìn)行快速、準(zhǔn)確和可靠的測(cè)量，可用于CO、 { \mathsf { C O } } _ { 2 } 、 C H _ { 4 } 、 N { \sf H } _ { 3 } 、 \mathsf { O } _ { 2 } . ， H _ { 2 } O 、HCI、HF等氣體監(jiān)測(cè)，為各行業(yè)氣體在線監(jiān)測(cè)提供可靠的解決方案。
產(chǎn)品介紹：
·高精度、漂移極低高選擇性、無(wú)交叉干擾·體積小，重量輕
采用多次反射池，檢測(cè)限低原位抽取設(shè)計(jì)，全程高溫（ > 2 0 0 ^ { \circ } \mathsf { C } ) （防止NH吸附結(jié)晶
維護(hù)周期長(zhǎng)，成本低
響應(yīng)時(shí)間 < 3 0 5
可測(cè)高溫氣體，不受粉塵影響
有機(jī)物排氣在線監(jiān)測(cè)
ONLINEMONITORING OF ORGANIC EMISSIONS
VOCs在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由氣態(tài)污染物監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)、煙氣參數(shù)監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)及數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)組成，其中氣態(tài)污染物監(jiān)測(cè)子系統(tǒng)的預(yù)處理單元、分析單元和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)安裝在機(jī)柜內(nèi)，可以連續(xù)監(jiān)測(cè)甲烷（ ( C H _ { 4 } ) 、總烴（THC）、非甲烷總烴(NMHC）等污染因子。
VM1700VOCs在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（氣相色譜+FID檢測(cè)器）
系統(tǒng)原理：
針對(duì)有機(jī)廢氣具有水汽含量高、濃度大、工況復(fù)雜等特點(diǎn)，設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)有機(jī)廢氣在線分析儀，采用全程 1 7 5 ^ { \circ } { C } 高溫伴熱樣品傳、高溫FID檢測(cè)，樣品經(jīng)內(nèi)置過(guò)濾器過(guò)濾后，被采集到定量環(huán)中，通過(guò)想氣將定量環(huán)中的樣品分別送入色造柱中進(jìn)行分高，然后依次進(jìn)入FID檢測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
采用標(biāo)準(zhǔn)的氣相色譜分析方法，測(cè)量準(zhǔn)確。
2 采用全程高溫伴熱設(shè)計(jì)，從采樣到分析全程高溫，避免高沸點(diǎn)VOCs的附著，防止部件腐蝕。
3 系統(tǒng)采用主氣路抽氣、旁路分析儀進(jìn)氣的取樣方式，保證系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間。
4系統(tǒng)經(jīng)過(guò)三級(jí)過(guò)濾，保證分析儀的使用壽命。
廢水在線監(jiān)測(cè)
ONLINEWASTEWATERMONITORING
WS1501型CODcr水質(zhì)在線自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀
系統(tǒng)介紹：
待測(cè)樣品中加入定量的重鉻酸鉀溶液，在強(qiáng)酸介質(zhì)中，以硫酸銀作為催化劑，并加入硫酸汞作為氯離子掩蔽劑，混合液經(jīng)高溫、高壓密閉消解后，通過(guò)光電比色法測(cè)定三價(jià)鉻的產(chǎn)生量，得到吸光度，依據(jù)朗伯-比爾定律計(jì)算出待測(cè)樣品中CODcr值，其中消耗的重鉻酸根離子量相當(dāng)于可氧化的有機(jī)物量。
儀器特點(diǎn)：
獨(dú)有的三級(jí)精密光電計(jì)量裝置，試劑抽取快速精確，大幅減1小蠕動(dòng)泵管老化的影響；2 精確的溫度補(bǔ)償算法及環(huán)境光消除措施，無(wú)論春夏秋冬，精度始終如一；3 高可靠的試劑選擇閥和消解瓶組件，故障率低，維護(hù)工作量小；完備的消解壓力檢測(cè)保護(hù)、溫度保護(hù)及漏液報(bào)警功能，確保4設(shè)備安全運(yùn)行；5 獨(dú)特的維護(hù)流程現(xiàn)場(chǎng)可編輯，提高運(yùn)維效率；6 更為人性化的觸摸式圖形界面，操作極其簡(jiǎn)便，無(wú)須勞神記憶，觸手可及；4 自動(dòng)電控安全門(mén)設(shè)計(jì)，細(xì)心呵護(hù)設(shè)備運(yùn)維人員安全。
| 项目 | 技术指标 |
| 测量方法 | 重铬酸钾氧化分光光度法 |
| 检测范围 | 0~5000.0mg/L(可扩展) |
| 示值误差 | ±5% |
| 重复性误差 | ≤3% |
| 24小时低浓度漂移 | ±5mg/L |
| 24小时高浓度漂移 | 0~200mg/L，+5%;200~5000mg/L，，+3%;2000~5000mg/L，+5% |
| 外形尺寸 | 500mm*420mm*1470mm (宽*深*高) |
WS1503型氨氮水質(zhì)在線自動(dòng)監(jiān)測(cè)
系統(tǒng)介紹：
在堿性介質(zhì)和亞硝基鐵氰化鈉（硝普鈉）存在的條件下，待測(cè)水樣中的銨根離子與水楊酸鹽和次氯酸離子反應(yīng)生成水溶性的藍(lán)色化合物，該物質(zhì)在特定波長(zhǎng)處具有最大吸收，通過(guò)光電比色法，根據(jù)朗伯-比爾定律，計(jì)算出待測(cè)樣品中氨氮的含量，測(cè)量值通過(guò)顯示屏顯示。其中加入特定的掩蔽劑除去陽(yáng)離子（特別是鈣、鎂離子）的干擾。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
獨(dú)有的三級(jí)精密光電計(jì)量裝置，試劑抽取快速精確，大幅減1小蠕動(dòng)泵管老化的影響；2 精確的溫度補(bǔ)償算法及環(huán)境光消除措施，無(wú)論春夏秋冬，精度始終如一；3 高可靠的試劑選擇閥和消解瓶組件，故障率低，維護(hù)工作量??；4 獨(dú)特的維護(hù)流程現(xiàn)場(chǎng)可編輯，提高運(yùn)維效率；5 更為人性化的觸摸式圖形界面，操作極其簡(jiǎn)便，無(wú)須勞神記憶，觸手可及；6 低溫冷凝裝置，突破性的解決試劑長(zhǎng)時(shí)間保存問(wèn)題;
| 项目 | 技术指标 |
| 测量方法 | 重铬酸钾氧化分光光度法 |
| 检测范围 | 0~5000.0mg/L(可扩展) |
| 示值误差 | ±5% |
| 重复性误差 | ≤3% |
| 24小时低浓度漂移 | ±5mg/L |
| 24小时高浓度漂移 | 0~200mg/L，+5%；200~5000mg/L，+3%；2000~5000mg/L，+5% |
| 外形尺寸 | 500mm*420mm*1470mm(宽*深*高) |
| 水质在线自动监测仪（部分） | |||
| 型号 | 监测物质 | 原理 | 量程 |
| WS1504s | 总磷 | 过硫酸盐氧化-钼酸铵分光光度法 | 0~50.0mg/L (可根据客户需求扩展量程) |
| WS1505s | 总氮 | 碱性过硫酸钾消解-紫外分光光度法 | 0~200.0mg/L (可扩展) |
| WS1506s | 高锰酸盐 | 高锰酸钾氧化-电位滴定法 | 0~25.0mg/L (可扩展) |
| WS1507 | 硝酸盐氮 | 间苯二酚分光光度法 | 0~50mg/L |
| WS1508 | 总碑 | 二硫代二安替比林甲烷分光光度法 | 0~1.0mg/L (可扩展) |
| WS1509 | 正磷酸盐 | 钼酸铵分光光度法 | 0~50mg/L (可扩展) |
| WS1510 | 总铅 | 过硫酸盐氧化-啉分光光度法 | 0~4mg/L (可扩展) |
| WS1512 | 总镉 | 过硫酸盐氧化-啉分光光度法 | 0~0.4mg/L (可扩展) |
| WS1515 | 六价铬 | 二苯碳酰二分光光度法 | 0~5mg/L |
| WS1516 | 总铬 | 过硫酸盐氧化一二苯碳酰二肼分光光度法 | 0~5mg/L (可扩展) |
| WS1518 | 总镍 | 过硫酸盐氧化-丁二酮分光光度法 | 0~10mg/L (可扩展) |
| WS1520 | 总铜 | 过硫酸盐氧化-浴铜灵分光光度法 | 0~5mg/L |
| WS1522 | 总锌 | 过硫酸盐氧化-锌试剂分光光度法 | 0~5.0mg/L |
| WS1524 | 总铁 | 过硫酸盐氧化-邻菲啰啉分光光度法 | 0~10mg/L |
| WS1525 | 氟化物 | 氟试剂分光光度法 | 0~50mg/L (可扩展) |
| WS1526 | 总锰 | 过硫酸盐氧化-甲醛分光光度法 | 0~20mg/L (可扩展) |
| WS1527 | 余氯 | N,N-二乙基-1,4苯二胺分光光度法 | 0~20mg/L (可扩展) |
04 一站式密封性檢測(cè)解決方案ONE-STOP SEALING TESTING SOLUTION
應(yīng)用背景
BACKGROUND
工業(yè)檢測(cè)儀器在半導(dǎo)體的應(yīng)用背景
在大型半導(dǎo)體生產(chǎn)中，氨質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于各種工藝，如刻蝕、CVD、PVD、真空爐、離子注入等。它能在工藝維護(hù)后迅速確認(rèn)工藝完整性和漏孔修復(fù)部位，確保次級(jí)生產(chǎn)中的真空管線和泵、氣柜及復(fù)雜氣體輸送管線以及生產(chǎn)設(shè)施和治理的安全高效。
前道單晶爐管路廠務(wù)特氣管路儲(chǔ)氣、液罐
中道
CVD
PVD
等離子刻蝕/清洗
離子注入
熱處理爐
管路
后道封裝
方案構(gòu)成
COMPOSITIONOFTHEPROGRAM
氨質(zhì)譜檢漏儀
SFJ-16F雙分子泵氨質(zhì)譜檢漏儀為滿足客戶嚴(yán)苛的泄露檢測(cè)應(yīng)用而生。采用自有獨(dú)特的軟件算法和經(jīng)客戶驗(yàn)證的真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。SFJ-16F可在量程范圍內(nèi)的快速響應(yīng)，并在極短的時(shí)間內(nèi)完成從達(dá)到開(kāi)檢條件到給出測(cè)試結(jié)果。獨(dú)特設(shè)計(jì)的真空系統(tǒng)可以持續(xù)較高的氮?dú)獬樗俸晚憫?yīng)，滿足客戶需求。
核心產(chǎn)品介紹
INTRODUCTIONTO COREPRODUCTS
| 指标项 | SFJ-16F(双泵) |
| 最小可检漏率（真空模式） | 5x10-13Pa.m³/s |
| 最小可检漏率(吸枪模式) | 5x10-Pa.m³/s |
| 检漏口最大压力 | Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa |
| 粗抽能力 | 36m³/h |
| 检漏口规格 | DN 40 IS0-KF |
| 检测介质 | 氮气；氢气 |
| 启动时间 | ≤2min |
| 接口 | RS-232/485 ,WLAN |
| 输入/输出接口 | Digital and Analog I/O,Relays |
| 尺寸 | 805*500*1100mm |
| 重量 | 155kg |
| 电压 | 220V±10%,50HZ |
| 最大功率 | 1500W |
| 语言 | 中/英文 |
| 温度 | 10°℃~40℃ |
場(chǎng)景應(yīng)用
SCENARIOAPPLICATION
皖儀科技一站式密封性檢測(cè)解決方案已覆蓋全球 2 0 + 國(guó)家，助力數(shù)方條自動(dòng)化產(chǎn)線升級(jí)，真正實(shí)現(xiàn)了“替代進(jìn)口”。憑借專業(yè)的密封性檢測(cè)解決方案和優(yōu)質(zhì)、高效、貼心的全方位服務(wù)，皖儀科技助力全球數(shù)方條自動(dòng)化產(chǎn)線，為客戶不斷創(chuàng)造更大的價(jià)值。
05 實(shí)驗(yàn)室分析儀器解決方案LABORATORY ANALYTICAL
分析儀器的應(yīng)用
APPLICATIONSOFANALYTICALINSTRUMENTS
分析儀器在半導(dǎo)體工藝流程中的應(yīng)用
離子態(tài)雜質(zhì)分析
離子色譜儀
·晶圓表面 ·電子特氣·濕電子化學(xué)品 ·潔凈空氣·光刻膠及配套試劑 ·封測(cè)·蝕刻劑
有機(jī)污染物/有機(jī)成分分析
氣相色譜、氣質(zhì)聯(lián)用儀、液相色譜、液質(zhì)聯(lián)用儀
晶圓表面有機(jī)污染物 ·電鍍液添加劑分析
濕電子化學(xué)品的有機(jī) 電子電器中有害有污染物 機(jī)物
光刻膠有機(jī)物分析/ 超純水有機(jī)雜質(zhì)配方剖析
離子色譜的應(yīng)用
APPLICATIONSOFIONCHROMATOGRAPHY
離子色譜在半導(dǎo)體超純水和高純?cè)噭┲泻哿侩s質(zhì)離子的檢測(cè)
01多功能離子色譜在半導(dǎo)體超純水的檢測(cè)
皖儀IC6600多功能離子色譜 + , AS3120大體積自動(dòng)進(jìn)樣器
無(wú)析出污染的高純PP進(jìn)樣瓶，高純高分子材料管路設(shè)計(jì)；
大體積35mL進(jìn)樣 ^ + 在線富集；自動(dòng)20-100ppt標(biāo)準(zhǔn)曲線；
實(shí)現(xiàn)20-100ppt檢測(cè)能力；定量重復(fù)性小于 3 %
加標(biāo)回收率 8 0 % -- 1 2 0 %
通過(guò)在在權(quán)威機(jī)構(gòu)潔凈實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證，滿足ASTM-28nm以下半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)的對(duì)超純水中痕量雜質(zhì)離子的檢測(cè)需求（低于20ppt）；
02多功能離子色譜在半導(dǎo)體高純?cè)噭z測(cè)的應(yīng)用
高純氫氟酸中痕量氯離子，硫酸根離子，硝酸根離子的檢測(cè)高純冰醋酸中痕量氯離子，氟離子，硫酸根離子，溴離子的檢測(cè)高純雙氧水中痕量氯離子，硝酸根離子，硫酸根離子的檢測(cè)；高純硝酸中痕量氯離子，硫酸根離子，氟離子的檢測(cè)；高純濃氨水中痕量氟離子，氯離子，硫酸根離子的檢測(cè)，
03半導(dǎo)體表面痕量無(wú)機(jī)雜質(zhì)離子如F，CL、SO2-和 NH+等檢測(cè)
液相色譜質(zhì)譜解決方案
LIQUID CHROMATOGRAPHYMASS SPECTROMETRY SOLUTIONS
三重四極桿LC-MS/MS 憑借其高靈敏度MRM檢測(cè)、復(fù)雜基質(zhì)耐受性及自動(dòng)化方法開(kāi)發(fā)能力，成為半導(dǎo)體行業(yè)超純?cè)噭┓治?、工藝過(guò)程監(jiān)控及污染物溯源的核心工具。通過(guò)精準(zhǔn)控制有機(jī)污染物、離子雜質(zhì)及功能性添加劑的含量，該技術(shù)為納米級(jí)芯片制造的“超潔凈”環(huán)境提供了關(guān)鍵質(zhì)量保障，直接支撐半導(dǎo)體器件的高性能與高可靠性。
液相色譜的優(yōu)勢(shì)
HPLC、UHPLC技術(shù)，作為高度穩(wěn)定、可靠、重現(xiàn)性好的分離技術(shù)，已經(jīng)成功地在全世界各大實(shí)驗(yàn)室的各種苛刻分析領(lǐng)域中廣泛應(yīng)用
1 節(jié)省每個(gè)樣品分析時(shí)間和支出，并大大改善結(jié)果
2 高流速和高通量獲得理想分離度和靈敏度
3 節(jié)省每個(gè)樣品分析時(shí)間和支出，并大大改善
4 適用專用亞二微米色譜柱獲得卓越柱效
樣品種類
檢測(cè)參數(shù)
01、試劑及工藝溶液
01、有機(jī)污染物
清洗液、刻蝕液、電鍍液、光刻膠中的有機(jī)污染物、工藝性雜質(zhì)、材料純度等
酚醛樹(shù)脂、甲基丙烯酸酯類聚合物、甲醇、乙醇、PGMEA、材料分解的小分子化合物、十二烷基硫酸鈉(SDS）、吐溫類
02、晶圓和器件表面
02、離子型與功能性雜質(zhì)雜
晶圓表面萃取物、器件拆解樣品表面殘留有機(jī)污染物
酸根和胺類、痕量摻雜劑的濃度、光敏劑如重氮萘醌(DNQ）類化合物的殘留量、電鍍添加劑如整平劑（如SPS）、光亮劑（如芐叉丙酮）
03、環(huán)境和輔助材料
03、特殊工藝試劑濃度
空氣中有機(jī)物經(jīng)溶劑溶解后的樣品，封裝材料中塑封料、焊錫膏等的溶劑萃取液
顯影液TMAH濃度、CVD前驅(qū)體純度如TEOS中的有機(jī)雜質(zhì)（如乙醇、醛類)
氣相色譜及質(zhì)譜在半導(dǎo)體制造中應(yīng)用
GAS CHROMATOGRAPHY AND MASS SPECTROMETRY AREUSEDIN SEMICONDUCTORMANUFACTURING
| 洁净室空气监测 (AMC-气 态分子污染物） | 超纯水 (UPW)& 工艺化学品分析 | 工艺气体 纯度验证 | 材料释气 (OUTGASSING) 分析 | 故障分析与 污染潮源 |
| 实时监控洁净室空 | 检测水中/化学品中 | 确保特种气体（如 | 评估光刻胶、封装材 | 识别导致晶圆缺陷、 |
| 气中痕量VOCS、 | 残留溶剂、有机物杂 | SIH4,PH3,ASH3, | 料、垫圈等释放的挥 | 设备故障或工艺异常 |
| 酸/碱气体、掺杂 | 质 | B2H6,N2O)及载 | 发性有机物 | 的污染源 |
| 剂等(VM1750) | (GC6100&GM6100) | 中杂质含量达标 (GC6100&GM6100) | (GC6100&GM6100) | (GC6100&GM6100) |
了解更多
LEARN MORE
【媒體矩陣】
知乎
皖儀地址
總部：安徽省合肥市高新區(qū)文曲路8號(hào)北京分公司：北京市豐臺(tái)區(qū)三路居
113號(hào)1幢1層101內(nèi)
泰國(guó)辦事處：BWINSIRACHA DISTRICT，CHON BURI20230THAILAND 2 2 x 6 + 2 2 挽臘?？?，春武里府，泰國(guó)
皖儀郵箱
收到郵件咨詢后24小時(shí)內(nèi)回復(fù)！wayeal@wayeal.com.cn
服務(wù)熱線
周一至周五9:00-17:00400-112-0066
全球布局
GLOBALLAYOUT
作為一家以國(guó)際化視野、按國(guó)際化標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)營(yíng)的全球精密科學(xué)儀器專業(yè)供應(yīng)商，皖儀科技加速“出?！睉?zhàn)略，積極開(kāi)拓海外市場(chǎng)，致力于為全球客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。目前，公司產(chǎn)品銷往全球20多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，包括泰國(guó)、埃及、秘魯、墨西哥、哈薩克斯坦、巴西、阿根廷、智利、印尼、印度、越南、孟加拉、馬達(dá)加斯加等，公司產(chǎn)品和服務(wù)獲得了國(guó)際客戶廣泛認(rèn)可。
