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Sievers\* M500e總有機(jī)碳（TOC）分析儀
準(zhǔn)確精確隨時待用
SieversM500e總有機(jī)碳TOC分析儀實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵有機(jī)污染物在線檢測，優(yōu)化產(chǎn)量，并確保超純水質(zhì)。
Sievers產(chǎn)品邁上新臺階
M500e分析儀在原Sievers500RLeTOC分析儀的穩(wěn)定性基礎(chǔ)上，進(jìn)一步完善了界面，提高了超低濃度檢測的準(zhǔn)確性，并能在幾分鐘內(nèi)得出檢測結(jié)果。M500e是Sievers第三代在線分析儀，使在微電子領(lǐng)域中領(lǐng)先長達(dá)數(shù)十年的Sievers產(chǎn)品邁上了一個新的臺階。M500e采用Sievers膜電導(dǎo)技術(shù)，無需試劑，可實(shí)現(xiàn)低于1ppb TOc的準(zhǔn)確性、精確性和穩(wěn)定性。
SSeTilT 貝
卓越的性能和特性適用于微電子行業(yè)
2\*
加快沖洗：雙倍速度
為使正常運(yùn)行時間和低濃度數(shù)據(jù)收集能力最大
化，M500e采用更快速的沖洗時間，可實(shí)現(xiàn)：
一沖洗周期比上一代產(chǎn)品快 50 % 以上（低至3分鐘）最多數(shù)據(jù)生成，即使在維護(hù)或消耗品更換后也是如此
主要特點(diǎn)
可選項(xiàng)
一電導(dǎo)率/電阻率一用WiFi和以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)訪問
10英寸觸摸屏
一界面直觀一設(shè)置一目了然一耐化學(xué)腐蝕
設(shè)計
一IP55和全I(xiàn)P接口
一占地面積與500RLe相同，升級簡便
取樣系統(tǒng)
一集成在線取樣系統(tǒng)（iOS，Integrated OnlineSamplingSystem）能夠添加標(biāo)準(zhǔn)品一基本型號帶不銹鋼取樣器
250 ppb
1 ppb
低濃度校準(zhǔn)和驗(yàn)證協(xié)議：確保質(zhì)量和控制新低濃度校準(zhǔn)（250ppb鄰苯二甲酸氫鉀KHP）和確認(rèn)（100ppb異丙醇IPA）
使用經(jīng)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)品，在接近操作范圍進(jìn)行校準(zhǔn)，并使用難以氧化的化合物進(jìn)行確認(rèn)。
自適應(yīng)自動歸零：根據(jù)變化自動調(diào)節(jié)
根據(jù)T0C偏移量的變化，M500e自動確定TOC自動歸零頻率。這允許：
校正結(jié)果間差異
一無需手動變更自動歸零頻率
-小于1ppbTOC的精確性和穩(wěn)定性儀器間匹配
Sievers膜電導(dǎo)TOC檢測技術(shù)
專利的透氣膜僅選擇性地透過有機(jī)物氧化產(chǎn)生的CO
增強(qiáng)響應(yīng)性和快速分析
一3分鐘分析時間一加速沖洗一自適應(yīng)自動歸零一低濃度校準(zhǔn)和確認(rèn)
卓越的分析性能
TOC分析范圍：0.03 ppb - 2.5 ppm
一電導(dǎo)率范圍：0.01-800 μ S/cm（也顯示為電阻率）
一儀器和所有接口均為IP55
無縫界面和數(shù)據(jù)管理
一設(shè)置和操作更快、更簡單
一應(yīng)答式且信息豐富的觸摸屏顯示與用戶界面
一現(xiàn)代化的全面的數(shù)據(jù)管理和數(shù)據(jù)傳輸組合
應(yīng)用領(lǐng)域
微電子
始終如一的超純水（UPW）生產(chǎn)對于微電子制造業(yè)至關(guān)重要。通過使用SieversM500e實(shí)施TOC監(jiān)控，工廠能夠：
一確保水質(zhì)符合推薦的TOC限值
一確保有機(jī)物的完全回收，尤其是在不利于氧化的環(huán)境中
一提供關(guān)于源水、樹脂系統(tǒng)和生產(chǎn)過程中所存在化合物的可靠回收數(shù)據(jù)，從而能夠采取前瞻性措施，保護(hù)產(chǎn)品質(zhì)量，并幫助進(jìn)行系統(tǒng)故障排除
一未檢出的有機(jī)物可能影響光刻，我們幫助制造運(yùn)營部門，戰(zhàn)勝這種風(fēng)險
其他超純水應(yīng)用
為實(shí)現(xiàn)最優(yōu)運(yùn)行，蒸汽發(fā)生水系統(tǒng)需要超純水質(zhì)。使用M500e，工廠能夠：
一使用一個參數(shù)：TOC，即可分析低濃度污染物（例如糖、清潔劑、冷卻液或有機(jī)酸）
一確保給水質(zhì)量，以減輕損失和工廠停產(chǎn)時間
一檢測換熱器中的污染物，并保護(hù)拋光系統(tǒng)和設(shè)備
一辨識是否存在會造成腐蝕性環(huán)境的化合物，從而避免工廠停產(chǎn)和設(shè)備損壞
一根據(jù)各電力行業(yè)協(xié)會的建議，保證TOC已限制為<100-200 ppb
| 总有机碳 | |
| 线性范围 | 0.03—2500 ppb（以TOC计） |
| 准确度 | 测量值的±5%；±0.1ppb |
| 精确度 | 测量值的±1%；±0.03 ppb |
| 分析模式 | Online（在线）、OnlineAveraged（在线平均）、OnlineTimed（在线定时）、Grab（吸样） |
| 分析时间 | 连续在线检测为3分钟 |
| 臭氧相容性 | 连续时50ppb臭氧；每天2小时200ppb臭氧 |
| 样品流速（标称） | 0.25 mL/min |
| 外部流速 | 最低50mL/min |
| 样品温度 | 1-95℃（34-203°F）（承受短期蒸汽暴露） |
| 样品压力 | 100 psig以内 |
| 干扰物 | 对有机杂原子不敏感 |
| 校准稳定性 | 通常稳定12个月 |
| 显示读数 | 3位有效数字 |
| 电导率 | |
| 范围 | 0.01 to 800 uS/cm |
| 准确度 | 0.005μS/cm或1%（取较大者） |
| 精确度 | ≤1.0%RSD |
| 仪器 | |
| 电源要求 | 100-240VAC,70W,50/60 Hz |
| 保险丝 | 无用户需更换的保险丝 |
| 正常运行环境 | 仅用于室内 |
| 环境温度 | 5-40°C (41-104°F) |
| 最大相对湿度 | 95%以内（非冷凝） |
| 最高海拔 | 3,000 m (9,843 ft) |
| 输入 | 两个独立的二进制输入 |
| 输出 | 串行（RS-232），一个USB，三个4-20mA，四个警报，一个以太网 |
| 安装/过电压类别 | I（防止I类电源中出现瞬变） |
| 安全认证 | 通过CE、ETL认证，符合UL标准61010-1；通过CSA22.2No.61010-1认证 |
| 污染级别 | 2（通常仅有非导电污染） |
| 显示 | 背光10.1英寸，1280×800，触摸屏显示 |
| 尺寸 | 高：43.4cm（17.1英寸）宽：55.9 cm（22.0英寸）深：28.7cm（11.3英寸） |
| 重量 | 13.6kg（30磅）[标准iOS] |
| 防护等级 | IP 55 |
| 可选Wi-Fi | 802.11ac/a/b/g/n双频2.4/5 GHz |
| 工业通信协议 | Modbus TCP/IP |
